Fizyczne podstawy mikrotechnologii
Kierunek studiów: Mikro i nanotechnologia
Kod programu: W4-S2MN19.2020
Nazwa modułu: | Fizyczne podstawy mikrotechnologii |
---|---|
Kod modułu: | W4-S2MN19-M3 |
Kod programu: | W4-S2MN19.2020 |
Semestr: | semestr letni 2020/2021 |
Język wykładowy: | polski |
Forma zaliczenia: | egzamin |
Punkty ECTS: | 5 |
Opis: | W ramach wykładów przedstawione zostaną następujące zagadnienia:
1. Efekty rozmiarowe właściwości fizycznych fazy skondensowanej.
2. Materiały w mikrotechnologii – właściwości, zastosowania.
3. Metody wytwarzania mikroukładów (litografia optyczna, elektronowa, jonowa).
4. Fizyczne i chemiczne metody osadzania materiałów z fazy gazowej.
5. Osadzanie materiałów z wiązek molekularnych.
6. Laserowe i plazmowe metody wytarzania mikroukładów.
7. Układy mikroelektromechaniczne MEMS.
8. Mikroukłady elektroniczne.
9. Zastosowania mikroukładów we współczesnej technice.
10. Techniki wspomagające miktotechnologię.
W ramach zajęć laboratoryjnych wykonywane będą ćwiczenia mające na celu zapoznanie studentów z różnymi technikami wytwarzania i charakteryzacji mikroukładów.W ramach wykładów przedstawione zostaną następujące zagadnienia:
1. Efekty rozmiarowe właściwości fizycznych fazy skondensowanej.
2. Materiały w mikrotechnologii – właściwości, zastosowania.
3. Metody wytwarzania mikroukładów (litografia optyczna, elektronowa, jonowa).
4. Fizyczne i chemiczne metody osadzania materiałów z fazy gazowej.
5. Osadzanie materiałów z wiązek molekularnych.
6. Laserowe i plazmowe metody wytarzania mikroukładów.
7. Układy mikroelektromechaniczne MEMS.
8. Mikroukłady elektroniczne.
9. Zastosowania mikroukładów we współczesnej technice.
10. Techniki wspomagające miktotechnologię.
W ramach zajęć laboratoryjnych wykonywane będą ćwiczenia mające na celu zapoznanie studentów z różnymi technikami wytwarzania i charakteryzacji mikroukładów. |
Wymagania wstępne: | Podstawy z zakresu elektryczności i elektrotechniki. |
Literatura podstawowa: | (brak informacji) |
Efekt modułowy | Kody efektów kierunkowych do których odnosi się efekt modułowy [stopień realizacji: skala 1-5] |
---|---|
Posiada wiedzę w zakresie fizycznych podstaw mikrotechnologii [2MN-M3-01] |
MN_w01 [5/5] |
Zna podstawowe metody wytwarzania mikroukładów. [2MN-M3-02] |
MN_u01 [5/5] |
Posiada wiedzę w zakresie budowy i zastosowań mikroukładów typy MEMS. [2MN-M3-03] |
MN_u02 [5/5] |
Typ | Opis | Kody efektów modułowych do których odnosi się sposób weryfikacji |
---|---|---|
Egzamin [2MN-M3-w1] | Egzamin ustny lub pisemny sprawdzający stopień opanowania materiału wykładu. |
2MN-M3-01 |
Sprawozdanie [2MN-M3-w2] | Sprawdzenie umiejętności samodzielnego rozwiązywania zadań. |
2MN-M3-01 |
Rodzaj prowadzonych zajęć | Praca własna studenta | Sposoby weryfikacji | |||
---|---|---|---|---|---|
Typ | Opis (z uwzględnieniem metod dydaktycznych) | Liczba godzin | Opis | Liczba godzin | |
wykład [2MN-M3-z1] | Wykład z wykorzystaniem technik audiowizualnych – przyswajanie i pogłębianie wiedzy. |
30 | (brak informacji) |
Egzamin [2MN-M3-w1] |
|
laboratorium [2MN-M3-z2] | Samodzielne wykonywanie ćwiczeń – wykonywanie ćwiczeń laboratoryjnych, analiza wyników, pisanie sprawozdań. |
30 | (brak informacji) |
Załączniki |
---|
Opis modułu (PDF) |
Informacje o sylabusach mogą ulec zmianie w trakcie trwania studiów.
Sylabusy (USOSweb) | ||
---|---|---|
Semestr | Moduł | Język wykładowy |
(brak danych) |