Fizyczne podstawy mikrotechnologii Kierunek studiów: Mikro i nanotechnologia
Kod programu: W4-S2MN19.2021

Nazwa modułu: Fizyczne podstawy mikrotechnologii
Kod modułu: W4-S2MN19-M3
Kod programu: W4-S2MN19.2021
Semestr:
  • semestr letni 2023/2024
  • semestr letni 2022/2023
  • semestr letni 2021/2022
Język wykładowy: polski
Forma zaliczenia: egzamin
Punkty ECTS: 5
Opis:
W ramach wykładów przedstawione zostaną następujące zagadnienia: 1. Efekty rozmiarowe właściwości fizycznych fazy skondensowanej. 2. Materiały w mikrotechnologii – właściwości, zastosowania. 3. Metody wytwarzania mikroukładów (litografia optyczna, elektronowa, jonowa). 4. Fizyczne i chemiczne metody osadzania materiałów z fazy gazowej. 5. Osadzanie materiałów z wiązek molekularnych. 6. Laserowe i plazmowe metody wytarzania mikroukładów. 7. Układy mikroelektromechaniczne MEMS. 8. Mikroukłady elektroniczne. 9. Zastosowania mikroukładów we współczesnej technice. 10. Techniki wspomagające miktotechnologię. W ramach zajęć laboratoryjnych wykonywane będą ćwiczenia mające na celu zapoznanie studentów z różnymi technikami wytwarzania i charakteryzacji mikroukładów.W ramach wykładów przedstawione zostaną następujące zagadnienia: 1. Efekty rozmiarowe właściwości fizycznych fazy skondensowanej. 2. Materiały w mikrotechnologii – właściwości, zastosowania. 3. Metody wytwarzania mikroukładów (litografia optyczna, elektronowa, jonowa). 4. Fizyczne i chemiczne metody osadzania materiałów z fazy gazowej. 5. Osadzanie materiałów z wiązek molekularnych. 6. Laserowe i plazmowe metody wytarzania mikroukładów. 7. Układy mikroelektromechaniczne MEMS. 8. Mikroukłady elektroniczne. 9. Zastosowania mikroukładów we współczesnej technice. 10. Techniki wspomagające miktotechnologię. W ramach zajęć laboratoryjnych wykonywane będą ćwiczenia mające na celu zapoznanie studentów z różnymi technikami wytwarzania i charakteryzacji mikroukładów.
Wymagania wstępne:
Podstawy z zakresu elektryczności i elektrotechniki.
Literatura podstawowa:
(brak informacji)
Efekt modułowy Kody efektów kierunkowych do których odnosi się efekt modułowy [stopień realizacji: skala 1-5]
Posiada wiedzę w zakresie fizycznych podstaw mikrotechnologii [2MN-M3-01]
 MN_w01 [5/5] MN_u01 [5/5] MN_u02 [3/5]
Zna podstawowe metody wytwarzania mikroukładów. [2MN-M3-02]
 MN_u01 [5/5] MN_u06 [3/5]
Posiada wiedzę w zakresie budowy i zastosowań mikroukładów typy MEMS. [2MN-M3-03]
 MN_u02 [5/5] MN_u06 [5/5]
Typ Opis Kody efektów modułowych do których odnosi się sposób weryfikacji
Egzamin [2MN-M3-w1]
Egzamin ustny lub pisemny sprawdzający stopień opanowania materiału wykładu.
 2MN-M3-01 2MN-M3-02 2MN-M3-03
Sprawdzanie [2MN-M3-w2]
Sprawdzenie umiejętności samodzielnego rozwiązywania zadań.
 2MN-M3-01 2MN-M3-02 2MN-M3-03
Rodzaj prowadzonych zajęć Praca własna studenta Sposoby weryfikacji
Typ Opis (z uwzględnieniem metod dydaktycznych) Liczba godzin Opis Liczba godzin
wykład [2MN-M3-z1]
Wykład z wykorzystaniem technik audiowizualnych – przyswajanie i pogłębianie wiedzy.
 30
(brak informacji)
 Egzamin [2MN-M3-w1]
laboratorium [2MN-M3-z2]
Samodzielne wykonywanie ćwiczeń – wykonywanie ćwiczeń laboratoryjnych, analiza wyników, pisanie sprawozdań.
 30
(brak informacji)
 Sprawdzanie [2MN-M3-w2]
Załączniki
Opis modułu (PDF)
Informacje o sylabusach mogą ulec zmianie w trakcie trwania studiów.
Sylabusy (USOSweb)
Semestr Moduł Język wykładowy
(brak danych)